量子电子学报

作者：黄子文,赵帅,秦东旭,陈天赐,杨煜,王克逸

单位：1 中国科学技术大学精密机械与精密仪器系, 安徽 合肥 230026;2 中国科学技术大学国家同步辐射实验室, 安徽 合肥 230027;3 合肥工业大学电气与自动化工程学院, 安徽 合肥 230009

关键词：基础光学,X射线,旋转椭球聚焦镜,光学设计,掠入射系统,X射线反射率,

基金：同步辐射联合基金 (KY2090000080), 安徽省自然科学基金资助项目 (2308085QF208)

X射线椭球聚焦镜是显微成像、微束衍射、同步辐射光源等系统的关键器件。基于滨松L9421-02型微焦点光源, 开展了适用于桌面级X射线仪器的椭球聚焦镜的设计研究。选择8 keV作为设计能量, 根据反射与聚焦特性、制造工艺等条件, 分析了椭球镜的尺寸范围与设计要求, 并提出了基于参数扫描的尺寸设计流程。进而运用等效界面法, 研究了光学薄膜系统的X射线反射率, 确定了反射面膜层结构。最终提出了两组单层金膜椭球镜与两组钨-硅多层膜椭球镜的最优设计方案, 其长度为50 mm, 直径尺寸范围为2~10 mm。尺寸与膜层设计是椭球镜制造、检测与仪器开发等工作的前序基础, 完整的设计思路对于椭球镜个性化定制也具有一定的参考价值。

来源：2026年第1期

《量子电子学报》期刊编辑部

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