声明
严正声明：本站非期刊官网，非中介代理。
本站仅提供学术规范服务：快速预审、润色编辑服务、中英文查重、降重、去重服务、推荐合适的期刊投稿等学术规范服务。 如需提供学术规范服务请联系在线编辑。
国内刊号：34-1163/TN
国际刊号：1007-5461
发布日期:
作者：刘天,胡明勇,褚奇,袁梦雨,封志伟
单位：1 合肥工业大学仪器科学与光电工程学院, 安徽 合肥 230009;2 合肥工业大学光电技术研究院, 安徽 合肥 230009
关键词：光学非球面检测,补偿器设计,自准校正补偿检测,大相对口径,
针对大口径、大相对口径高次非球面加工检测的难题, 提出一种类Offner结构的自准校正补偿检测方法。该方法在补偿器远离待检非球面反射镜的一面镀上半透半反膜, 通过重复利用补偿器, 实现光线的自准校正功能, 从而完成对大相对口径非球面的全口径检验。首先依据三级像差理论, 推导出光学检验系统初始结构参数的计算公式。随后对有效口径为 712 mm、F/0.58 凹高次非球面的光学检验系统进行了仿真设计, 检验系统的残余波像差的峰谷 (PV) 值为0.0656 λ , 均方根偏差 (RMS) 值为0.0104 λ (λ = 632.8 nm)。最后对实际检测情况进行了分析, 发现设计的自准校正补偿检测系统能够满足实际检测的要求。本研究表明, 所提的类Offner结构自准校正补偿检测方法能够解决大相对口径高次非球面补偿检测困难的问题。
来源：2026年第1期
《量子电子学报》期刊编辑部
严正声明：本站非期刊官网，非中介代理。
本站仅提供学术规范服务：快速预审、润色编辑服务、中英文查重、降重、去重服务、推荐合适的期刊投稿等学术规范服务。 如需提供学术规范服务请联系在线编辑。