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国内刊号：34-1163/TN
国际刊号：1007-5461
发布日期:
作者：朱菲,侯再红,王港雨,秦来安,靖旭,吴德成,
单位：1 中国科学院合肥物质科学研究院安徽光学精密机械研究所, 中国科学院大气光学重点实验室,安徽 合肥 230031;2 中国科学技术大学研究生院科学岛分院, 安徽 合肥 230026;3 先进激光技术安徽省实验室, 安徽 合肥 230037
关键词：激光技术,光束质量,大口径米量级的测量系统,零点标定,平行度残余误差,
基金：国家自然科学基金重点项目 (41875033)
随着激光的应用越来越广泛, 大口径米量级的激光光束质量测量具有重要的研究价值。为规避大气影响, 对大口径米量级的激光光束质量的测量一般采用波前测量法在激光系统出口处直接测量。而为了实现精确测量, 则需先对大口径米量级的激光光束质量测量系统进行零点标定。本文提出了一种采用小口径的标定光源对大口径测量系统进行扫描标定的方法, 分析了不同扫描方式下由标定光源平行度残余误差引起的光斑质心偏移情况, 并对不同扫描方式下不同标定光源平行度残余误差对系统测量精度的影响进行了仿真分析。根据波前复原结果, 选择了单向扫描方式, 并提出在缩比验证测量系统口径为127 mm时, 标定光源平行度残余误差应不大于5 μrad; 在实际测量系统口径为1.27 m时, 标定光源平行度残余误差应不大于0.5 μrad。
来源：2024年第6期
《量子电子学报》期刊编辑部
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