量子电子学报

作者：于龙昆,李智祥,温小辉,刘辉,谭逢富

单位：( 1 南昌大学先进制造学院, 江西 南昌 330031;2 南昌大学信息工程学院, 江西 南昌 330031;3 中国科学院合肥物质科学研究院安徽光学精密机械研究所, 中国科学院大气光学重点实验室,安徽 合肥 230031 )

关键词：控制工程,探测器阵列标定,二维平台,闭环控制系统,步进电机,PID 算法,

基金：国家自然科学基金 (42165007)

为了实现快速、高精度探测器阵列标定, 对探测器阵列高精度二维标定平台控制系统进行了研究, 设计了采用单片机控制步进电机加编码器的闭环位移控制系统。介绍了该平台的标定原理和硬、软件控制系统设计, 并对控制PID 算法进行了研究, 最后搭建了标定系统对控制系统进行综合测试。实验结果表明该控制系统有良好的控制能力, 平台在600 mm× 600 mm 的有效行程内定位精度可达 −11～12 μm, 十次单点测试数据变异系数为 0.13%, 连续模式下平均测量误差为1.65%。该平台设计满足探测器阵列的标定要求, 为探测器阵列标定提供了一种有效手段。

来源：2024年第2期

《量子电子学报》期刊编辑部

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