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国内刊号：34-1163/TN
国际刊号：1007-5461
发布日期:
作者：廖杨芳,谢泉
单位：( 1 贵州师范大学物理与电子科学学院, 贵州 贵阳 550001;2 贵州大学大数据与信息工程学院, 贵州 贵阳 550025 )
关键词：材料,薄膜,Mg2Si,退火温度,蓝宝石衬底,光学带隙,
基金：贵州省科技计划项目 (黔科合基础 [2019] 1225号) , 贵州师范大学资助博士科研项目 (GZNUD [2018] 15 号)
采用磁控溅射法在蓝宝石衬底上制备了结晶良好的Mg2Si 多晶薄膜， 研究了退火温度（375~475 oC）对薄膜晶体结构、表面形貌、拉曼光谱和光学性质的影响。X 射线衍射（XRD）结果表明， 当退火温度为400 oC 时Mg2Si(220) 衍射峰强度最强， 样品结晶质量最好， 未见明显可观测的MgO 相。扫描电镜（SEM）结果表明， 所有样品表面均呈现清晰可见的规则六边形， 且退火温度对形貌影响较小。拉曼光谱结果显示所有样品均呈现出Mg2Si 薄膜的特征峰（256 cm-1附近的F2g振动模）， 同时出现345 cm-1附近的F1u (LO)声子模， 表明生成样品均为结晶良好的Mg2Si 薄膜。对薄膜光学性质的研究结果表明， 随着退火温度升高， 样品光学带隙先增大后减小。
来源：2023年第4期
《量子电子学报》期刊编辑部
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