量子电子学报

作者：代明聪,才家华,熊虹婷,陈赛,吴晓君∗

单位：( 北京航空航天大学电子信息工程学院, 北京 100191 )

关键词：近场显微技术,太赫兹,原子力显微镜,扫描隧道显微镜,

基金：国家自然科学基金 (61905007)

太赫兹是电磁频谱上还未被完全开发利用的频段, 但太赫兹谱学成像技术在材料科学和器件测试等方面已展现出重要应用价值。然而受远场衍射极限限制, 该频段难以聚焦于纳米、原子尺度的新材料和微纳器件中, 极大阻碍了太赫兹科学的发展与技术应用。为提高成像分辨率, 使其成为材料科学等交叉领域强大的研究工具, 近年诞生了太赫兹耦合的近场显微技术, 实现了纳米到埃米量级的空间分辨。本文综述了太赫兹耦合的近场显微技术, 包括扫描近场显微镜和扫描隧道显微镜各自的发展历程和应用实例, 并探讨了太赫兹近场显微技术的未来机遇和挑战。

来源：2023年第2期

《量子电子学报》期刊编辑部

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