量子电子学报

作者：李文彩,马玉良,陈坚

单位：1 安徽建筑大学数理学院, 安徽合肥230601;2 合肥利弗莫尔仪器科技有限公司, 安徽合肥230088;3 合肥知常光电科技有限公司, 安徽合肥230031

关键词：激光技术,缺陷检测,熔石英,光热吸收,拉曼光谱,

基金：Supported by Key Program of Natural Science Research Project of Anhui Province of China (安徽省高校省级自然科学研究项目-重点项目, KJ2019A0788), PhD Start-up Project of Natural Science (校引进人才及博士启动基金项目-自然科学类, 2019QDZ06), Major R & D Projects ofKey Technologies of Hef

为建立完善的熔石英元件吸收缺陷检测体系, 有效提升熔石英元件的抗激光损伤阈值, 设计了一套熔石英损伤特性原位测量装置, 包括光热扫描测量与拉曼光谱测量两部分。实验表明, 该装置不仅可以对熔石英样品的定点损伤特性进行测量, 同时可以通过二维光热扫描测出样品的吸收特性和缺陷分布。此外, 通过该装置的显微拉曼光谱测量模块可实现在辐照过程中对缺陷所致拉曼带的原位测量, 获取激光辐照过程熔石英材料改性的信息, 对有效控制和评价熔石英激光损伤特性具有重要意义。

来源：2021年第1期

《量子电子学报》期刊编辑部

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